专利名称：一种扁平式六自由度微动装置
专利(申请)号：CN202410889076.8
申请日期：2024-07-04
授权日期：
发明人：陈思鲁; 钱晨; 袁黎明; 张驰; 张杰; 杨桂林; 方灶军
其他发明人：
专利权人：