射频HEMT器件结构及其制备方法 专利名称:射频HEMT器件结构及其制备方法 专利(申请)号:CN202411749353.1 申请日期:2024-11-29 授权日期: 发明人:郭炜; 陈思彤; 叶继春 其他发明人: 专利权人: