中国科学院宁波材料技术与工程研究所

射频HEMT器件结构及其制备方法

专利名称:射频HEMT器件结构及其制备方法
专利(申请)号:CN202411749353.1
申请日期:2024-11-29
授权日期:
发明人:郭炜; 陈思彤; 叶继春
其他发明人:
专利权人: