专利名称：CVD生产中低浓度含氟污废水回用的喷淋系统
专利(申请)号：CN202421502850.7
申请日期：2024-06-27
授权日期：
发明人：康凯; 蔡明轩; 徐锐; 章婷; 向超宇
其他发明人：
专利权人：