触觉传感器及其制造方法 专利名称:触觉传感器及其制造方法 专利(申请)号:CN202110290765.3 申请日期:2021-03-18 授权日期: 发明人:蔡佳程; 竺立强; 肖惠; 任征宇 其他发明人: 专利权人: